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介绍

● FA辅助对焦

新近研发的FA照明器具有分光棱镜辅助对焦功能,可提供更锐利的图案。可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到最低。

分光棱镜辅助对焦(FA)结构

分光棱镜辅助对焦(FA)实例

用于高反光的工件 用于低反光的工件

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